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集成電路裝備重大專項檢查組赴清華大學檢查課題實施進展

2018年06月20日14:40

2011年1月17日下午,由“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(以下簡稱集成電路裝備專項)領導小組辦公室主任戴國強、實施管理辦公室主任梁勝、總體專家組組長葉甜春和副組長王曦院士帶隊的檢查組一行20余人到清華大學檢查其承擔的集成電路裝備專項工作進展情況。此次檢查對于確保清華承擔的集成電路裝備專項項目課題按計劃全面有序實施具有重要意義。

  清華大學副校長康克軍向檢查組匯報了學校科技重大專項的組織管理以及承擔的集成電路裝備專項項目課題總體實施情況。精儀系朱煜教授、路新春教授、微電子所許軍教授等12人分別匯報了此次檢查的12個項目(課題或子課題)的進展情況。

  檢查組專家認真聽取了匯報,與參會課題成員進行了座談交流,并現場檢查了各課題的階段成果。葉甜春組長代表檢查組充分肯定了清華對科技重大專項的組織管理工作,對清華承擔的集成電路裝備專項課題所取得的標志性成果高度贊賞。戴國強主任表示,清華大學為推動集成電路裝備專項的實施做了大量卓有成效的工作,所取得的成果對于推動產業發展具有重要作用。葉甜春組長和戴國強主任也對今后如何進一步加強科技重大專項的組織管理、深化研究、加強隊伍建設、注重研究成果與產業界的深度結合等提出了建議。清華大學科研院、精儀系、計算機系主、微電子所等相關負責人30余人參加會議。

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